24小时热门版块排行榜

返回列表

ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

应助: 2 (幼儿园)
金币: 715.2
帖子: 95
在线: 22小时
虫号: 2252542
注册: 2013-01-21
性别: GG
专业: 传热传质学

[求助] 如何利用lift-off工艺做一个二氧化硅的微型图案？（附图）已有1人参与

图中我是用剥离工艺，在抛光的硅片上，做了一条连起来的金属铜线，然后再上面作一个等间距的二氧化硅长方形条状。

现在的问题是：用这个剥离工艺做二氧化硅的时候，最后发现二氧化硅完全剥离不下来。用指甲用力点才能抠出一道。。。这得多紧啊。。

在网上查到可能在镀二氧化硅的时候温度过高，使得光刻胶变质了；或者也有人给出用超声波清洗；或者使用耐高温性的光刻胶等等等~~~~

我想问：
1、有没有更好的工艺做这个二氧化硅长方形条？
2、在社会上，有没有专门做这个的公司、研究院？我的想法是如果我们实验室没有相应的设备的话，我就让人家给我做了，但是不知道有没有这样的地方给做。

1.JPG

回复此楼