| 查看: 767 | 回复: 8 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
【求助】有没有自己组装过射频溅射源
|
|||
|
需要对仪器做一些改装，原来用直流没问题，现在要做成射频，电源，匹配箱，调节器都装好了，也可以调谐到零反射功率，可就是不起辉（没有窗口直接观察等离子体，但至少没有薄膜沉积上去），有自己组装过射频源的前辈能不能知道一下，直流改射频都需要注意什么？ [ Last edited by SHY31 on 2008-6-17 at 07:49 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
313求调剂
已经有4人回复
-
材料调剂
已经有13人回复
-
材料专硕283求调剂
已经有13人回复
-
295求调剂
已经有7人回复
-
266分，一志愿电气工程，本科材料，求材料专业调剂
已经有7人回复
-
307分材料专业求调剂
已经有5人回复
-
一志愿北交大材料工程总分358求调剂
已经有5人回复
-
求调剂
已经有4人回复
-
材料与化工371求调剂
已经有11人回复
-
材料求调剂
已经有4人回复
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 物理EPI: 1
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
7楼2008-06-18 01:28:32
cord
铁杆木虫 (著名写手)
- 物理EPI: 1
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2008-06-17 04:35:38
3楼2008-06-17 09:05:12
★ ★ ★ ★
zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流
cjw796(金币+1,VIP+0): 8-6 20:24
zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流
cjw796(金币+1,VIP+0): 8-6 20:24
|
如果没猜错楼主是在改装磁控靶吧！！！原则上所有磁控靶可以施加任何电源，直流、脉冲或射频，一直以来很多人说射频没有起辉的问题，但是发现并非如此，射频经常出现难于起辉的问题。至于射频不能起辉，有很多原因，首先请检测射频连接线要接触良好，有时候多拔插几次连接线会起到很好的效果；其次，溅射源与基片或者溅射源挡板不能太近，近了很难起辉，至于原因还不是很清楚；此外，起辉时最好能使工作气压稍高点，这样容易起辉。如果没有观察窗，那想三楼所讲的那样，观察自偏压，自偏压起来了一般辉光就起来了，这点对普通的二极溅射好像不行。 如果楼主改的不是磁控，是普通的二极溅射，那需要工作气压稍高才能起辉。 |
4楼2008-06-17 11:34:03
