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【求助】有没有自己组装过射频溅射源
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需要对仪器做一些改装，原来用直流没问题，现在要做成射频，电源，匹配箱，调节器都装好了，也可以调谐到零反射功率，可就是不起辉（没有窗口直接观察等离子体，但至少没有薄膜沉积上去），有自己组装过射频源的前辈能不能知道一下，直流改射频都需要注意什么？ [ Last edited by SHY31 on 2008-6-17 at 07:49 ] |
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如果没猜错楼主是在改装磁控靶吧！！！原则上所有磁控靶可以施加任何电源，直流、脉冲或射频，一直以来很多人说射频没有起辉的问题，但是发现并非如此，射频经常出现难于起辉的问题。至于射频不能起辉，有很多原因，首先请检测射频连接线要接触良好，有时候多拔插几次连接线会起到很好的效果；其次，溅射源与基片或者溅射源挡板不能太近，近了很难起辉，至于原因还不是很清楚；此外，起辉时最好能使工作气压稍高点，这样容易起辉。如果没有观察窗，那想三楼所讲的那样，观察自偏压，自偏压起来了一般辉光就起来了，这点对普通的二极溅射好像不行。 如果楼主改的不是磁控，是普通的二极溅射，那需要工作气压稍高才能起辉。 |
4楼2008-06-17 11:34:03
cord 
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