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【求助】有没有自己组装过射频溅射源
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需要对仪器做一些改装，原来用直流没问题，现在要做成射频，电源，匹配箱，调节器都装好了，也可以调谐到零反射功率，可就是不起辉（没有窗口直接观察等离子体，但至少没有薄膜沉积上去），有自己组装过射频源的前辈能不能知道一下，直流改射频都需要注意什么？ [ Last edited by SHY31 on 2008-6-17 at 07:49 ] |
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2楼2008-06-17 04:35:38
3楼2008-06-17 09:05:12
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如果没猜错楼主是在改装磁控靶吧！！！原则上所有磁控靶可以施加任何电源，直流、脉冲或射频，一直以来很多人说射频没有起辉的问题，但是发现并非如此，射频经常出现难于起辉的问题。至于射频不能起辉，有很多原因，首先请检测射频连接线要接触良好，有时候多拔插几次连接线会起到很好的效果；其次，溅射源与基片或者溅射源挡板不能太近，近了很难起辉，至于原因还不是很清楚；此外，起辉时最好能使工作气压稍高点，这样容易起辉。如果没有观察窗，那想三楼所讲的那样，观察自偏压，自偏压起来了一般辉光就起来了，这点对普通的二极溅射好像不行。 如果楼主改的不是磁控，是普通的二极溅射，那需要工作气压稍高才能起辉。 |
4楼2008-06-17 11:34:03
5楼2008-06-17 18:18:02
6楼2008-06-17 18:24:48
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7楼2008-06-18 01:28:32
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8楼2008-06-18 08:04:26
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| 如果你用的是铜，应该是没有问题的。从你描述的情况看，问题肯定在射频电源上，我曾经用三个射频起辉，有一个老是无法起辉，开始也怀疑过靶出问题了，但是把其它射频源换到上面却能起辉，因此才断定是电源的问题，又经过仔细检查才发现射频源的连接线断开了，重新连上后问题解决了。你可以把连接线有转接头的地方拆开，看看是不是线的问题，如果检查不出来，建议换根备用线试试。还有一个问题就是射频源与直流源不一样，它需要一个匹配过程，一般第一次起辉是很困难的，我第一次就花了两个多小时。还有最好先开总电源，预热十分钟左右再开溅射电源，这样起辉要容易点，这些都是自己的经验，希望对你有用！ |
9楼2008-06-18 14:57:37