| 查看: 766 | 回复: 8 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
[交流]
【求助】有没有自己组装过射频溅射源
|
|||
|
需要对仪器做一些改装，原来用直流没问题，现在要做成射频，电源，匹配箱，调节器都装好了，也可以调谐到零反射功率，可就是不起辉（没有窗口直接观察等离子体，但至少没有薄膜沉积上去），有自己组装过射频源的前辈能不能知道一下，直流改射频都需要注意什么？ [ Last edited by SHY31 on 2008-6-17 at 07:49 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
计算机11408，286分求调剂
已经有4人回复
-
0703化学321分求调剂
已经有17人回复
-
材料与化工371求调剂
已经有10人回复
-
一志愿 江南大学 085602 化工专硕 338分求调剂
已经有6人回复
-
22408 总分320，一篇论文二作，两个国三，求调剂
已经有3人回复
-
277求调剂
已经有3人回复
-
考研生物学考A区211，初试322，科目生化和生物综合，求调剂
已经有6人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
285求调剂
已经有6人回复
-
材料求调剂
已经有3人回复
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 物理EPI: 1
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2008-06-17 04:35:38
3楼2008-06-17 09:05:12
★ ★ ★ ★
zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流
cjw796(金币+1,VIP+0): 8-6 20:24
zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流
cjw796(金币+1,VIP+0): 8-6 20:24
|
如果没猜错楼主是在改装磁控靶吧！！！原则上所有磁控靶可以施加任何电源，直流、脉冲或射频，一直以来很多人说射频没有起辉的问题，但是发现并非如此，射频经常出现难于起辉的问题。至于射频不能起辉，有很多原因，首先请检测射频连接线要接触良好，有时候多拔插几次连接线会起到很好的效果；其次，溅射源与基片或者溅射源挡板不能太近，近了很难起辉，至于原因还不是很清楚；此外，起辉时最好能使工作气压稍高点，这样容易起辉。如果没有观察窗，那想三楼所讲的那样，观察自偏压，自偏压起来了一般辉光就起来了，这点对普通的二极溅射好像不行。 如果楼主改的不是磁控，是普通的二极溅射，那需要工作气压稍高才能起辉。 |
4楼2008-06-17 11:34:03
5楼2008-06-17 18:18:02
6楼2008-06-17 18:24:48
cord
铁杆木虫 (著名写手)
- 物理EPI: 1
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
7楼2008-06-18 01:28:32
元小雪
木虫 (职业作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 贵宾: 0.947
- 金币: 2216.5
- 散金: 2484
- 红花: 2
- 帖子: 3767
- 在线: 124.5小时
- 虫号: 471521
- 注册: 2007-12-01
- 性别: MM
- 专业: 物理/
8楼2008-06-18 08:04:26
★
cjw796(金币+1,VIP+0): 8-4 18:07
cjw796(金币+1,VIP+0): 8-4 18:07
| 如果你用的是铜，应该是没有问题的。从你描述的情况看，问题肯定在射频电源上，我曾经用三个射频起辉，有一个老是无法起辉，开始也怀疑过靶出问题了，但是把其它射频源换到上面却能起辉，因此才断定是电源的问题，又经过仔细检查才发现射频源的连接线断开了，重新连上后问题解决了。你可以把连接线有转接头的地方拆开，看看是不是线的问题，如果检查不出来，建议换根备用线试试。还有一个问题就是射频源与直流源不一样，它需要一个匹配过程，一般第一次起辉是很困难的，我第一次就花了两个多小时。还有最好先开总电源，预热十分钟左右再开溅射电源，这样起辉要容易点，这些都是自己的经验，希望对你有用！ |
9楼2008-06-18 14:57:37
