24小时热门版块排行榜    

查看: 1981  |  回复: 10
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

mwjsx

新虫 (初入文坛)

[求助] SU 8 光刻 问题,希望各位大神指点一下已有4人参与

先介绍一下基本情况 本人用的SU-8 2100, 旋涂80 微米,前烘: 65度 5分钟,95度15分钟; 后烘: 65度1分钟,95度7分钟; 显影: PGMEA中超声显影40分钟。想做的结构是一个三维的锯齿状的结构,处理后得到的横截面图,可以 看到图中的结构有些弯曲,查了一些文献,原因可能是su-8 吸收了一部分显影液变软了,请问各位大神还有什么其他的原因呢? 我的流程中有什么可以改进的? 谢谢!!!!

SU 8 光刻 问题,希望各位大神指点一下
锯齿状横截面
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

把你的前烘后烘的温度加大,时间再长一点。
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
11楼2015-03-06 11:37:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
锯齿是对称的吗?这个深宽比还挺大。
2楼2015-02-05 07:49:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

感谢参与,应助指数 +1
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容! 2017-07-25 23:33:05
本帖内容被屏蔽

3楼2015-02-05 13:11:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mwjsx

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2015-02-05 07:49:20
锯齿是对称的吗?这个深宽比还挺大。

不是对称的,一边是垂直的一边是斜坡。深宽比是4:1左右吧。
4楼2015-02-05 18:58:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见