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n370470948

银虫 (正式写手)

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[交流] 请教在做真空蒸镀电极完后，用什么保护电极，后期继续生长材料，而不破坏电极已有2人参与

有什么材料可以实现。

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1楼 2015-01-30 17:35:19

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n370470948

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光刻胶这种可以吗？耐酸耐碱？

2楼2015-02-03 15:18:43

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比如图中,ZnO PLD生长只生长部分ZnO,然后蒸镀金属。另一部分没长的，用什么覆盖吗？

请教在做真空蒸镀电极完后，用什么保护电极，后期继续生长材料，而不破坏电极

12.JPG

3楼2015-02-03 15:51:46

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yswyx

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容！ 2017-07-25 23:33:19

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4楼2015-02-05 13:42:34

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zjlenny

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

这个和GaN基LED的结构差不多的。应该是先完成外延生长，再通过ICP刻蚀，暴露出N型的外延层，再做电极的

5楼2015-02-05 16:20:21

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