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n370470948

银虫 (正式写手)

[交流] 请教在做真空蒸镀电极完后,用什么保护电极,后期继续生长材料,而不破坏电极 已有2人参与

有什么材料可以实现。
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n370470948

银虫 (正式写手)

光刻胶这种可以吗?耐酸耐碱?
2楼2015-02-03 15:18:43
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n370470948

银虫 (正式写手)

比如图中,ZnO PLD生长只生长部分ZnO,然后蒸镀金属。另一部分没长的,用什么覆盖吗?
请教在做真空蒸镀电极完后,用什么保护电极,后期继续生长材料,而不破坏电极
12.JPG
3楼2015-02-03 15:51:46
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容! 2017-07-25 23:33:19
本帖内容被屏蔽

4楼2015-02-05 13:42:34
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zjlenny

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个和GaN基LED的结构差不多的。应该是先完成外延生长,再通过ICP刻蚀,暴露出N型的外延层,再做电极的
5楼2015-02-05 16:20:21
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