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脉冲激光溅射镀膜
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]
脉冲激光溅射镀膜
我是用PLD的方法做薄膜的。我现在想知道靶材的纯度(原子计量比和要求的靶材是一样的,但是可能由原材料没有完全反应的情况)对于最后的薄膜的影响大不大。比如做出来的靶材只有很小的杂峰的情况
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2015-01-23 16:01:03
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