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微纳米加工技术
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liuhongbo
木虫
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专业: 功能陶瓷
[交流]
微纳米加工技术
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各位虫友你们好!
由于种种的种种原因,我要开设一门叫做《微纳米加工技术》的课程。因此想找适合本科生的教材。《微纳米加工技术及其应用》(崔铮)我觉得不太适合。如何这里有哈工大,华中理工等学校电子封装专业的老师,想进一步请教下,希望能站内我。多谢!
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1楼
2015-01-05 19:00:49
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jacknife2192
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专业: 半导体材料
★
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北理工的电子封装直接被忽略了……
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9楼
2015-01-10 10:19:06
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yswyx
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专业: 半导体微纳机电器件与系统
管辖:
微米和纳米
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
《半导体制造技术》,比较经典,可深可浅
封装的话,有封装专门的书,和那个所谓微米纳米关系不大
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2楼
2015-01-07 18:33:15
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apeace48
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专业: 半导体微纳机电器件与系统
★
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《硅集成电路工艺基础》关旭东
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4楼
2015-01-08 12:47:23
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Nordictokyo
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注册: 2013-08-22
性别: GG
专业: 微/纳机械系统
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
科学出版社,顾长志的《微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》我觉得挺好
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5楼
2015-01-09 12:53:33
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