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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » 磁控溅射通氢气容易爆炸吗？
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qazbnm

铁虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射通氢气容易爆炸吗？

如题？本人想做氢化纳米硅薄膜，但不知网机器里面通氢气有没有爆炸危险？还有，磁控溅射机的维持泵一直在从舱里往外面抽气，那氢气不就被抽出来了吗？那是不是更有危险？氢气的同期速度最大为30ml/min。
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1楼2014-12-22 17:36:17
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qazbnm

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by caoxiafei at 2014-12-23 09:38:38
你通氢气的时候真空可能有问题，冷泵和分子泵都不能将氢气抽出去，全靠硅等离子体的吸附，因此通H2气，要慎重，计算好计量比，有磁控溅射a-Si的相关文献吗？  可以参考

在磁控溅射腔室内爆炸是不太可能的，但应该 ...

文献上是有的，可以搜到很多，但是不知道他们如何防护的？管道泄露确实是个问题！

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6楼2014-12-23 18:25:46
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★ ★ ★
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qazbnm: 金币+2 2014-12-23 21:24:20
应该不会爆炸。氢气在空气中的爆炸范围为: [H2]=4%~76%。溅射室中氢气的气压极低，只有零点几个到1两个帕，又不存在氧气，因此不会爆炸。
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2楼2014-12-22 22:08:24
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鸿鹄北翔

金虫 (正式写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
qazbnm: 金币+1 2014-12-23 21:24:05
没有足够的氧气，爆炸的可能性较小，但是的保持很低的氧气浓度，即把真空度抽低点！
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渴望交流碰出智慧的火花
3楼2014-12-23 09:00:01
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
qazbnm: 金币+3 2014-12-23 21:22:48
你通氢气的时候真空可能有问题，冷泵和分子泵都不能将氢气抽出去，全靠硅等离子体的吸附，因此通H2气，要慎重，计算好计量比，有磁控溅射a-Si的相关文献吗？  可以参考

在磁控溅射腔室内爆炸是不太可能的，但应该注意氢气管道泄露的问题，H2无色无味无毒，在房间里浓度较高，氢气爆炸极限是4.0%～75.6%（体积浓度），且通风速度不够时，会发生爆炸，整个房间都爆炸，这就是为什么公共场所，如电影院和商场，不让带入氢气球的原因。如果提高安全性，就购买（H2：Ar=1：9）的混合气体。

百度百科：“由于氢气比惰性气体如氦气廉价，因此市面上销售的基本上都是氢气球。氢气与其他物体摩擦产生静电及遇到明火时，容易发生爆炸或燃烧。另外，市面上卖的五颜六色的小贩的气球，大多都是冲氢气的氢气球，比较安全的是充氦气的氦气球。”
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4楼2014-12-23 09:38:38
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