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磁控溅射通氢气容易爆炸吗？
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| 如题？本人想做氢化纳米硅薄膜，但不知网机器里面通氢气有没有爆炸危险？还有，磁控溅射机的维持泵一直在从舱里往外面抽气，那氢气不就被抽出来了吗？那是不是更有危险？氢气的同期速度最大为30ml/min。 |
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6楼2014-12-23 18:25:46
peterflyer 
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peterflyer
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3楼2014-12-23 09:00:01
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
qazbnm: 金币+3 2014-12-23 21:22:48
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qazbnm: 金币+3 2014-12-23 21:22:48
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你通氢气的时候真空可能有问题，冷泵和分子泵都不能将氢气抽出去，全靠硅等离子体的吸附，因此通H2气，要慎重，计算好计量比，有磁控溅射a-Si的相关文献吗？ 可以参考 在磁控溅射腔室内爆炸是不太可能的，但应该注意氢气管道泄露的问题，H2无色无味无毒，在房间里浓度较高，氢气爆炸极限是4.0%～75.6%（体积浓度），且通风速度不够时，会发生爆炸，整个房间都爆炸，这就是为什么公共场所，如电影院和商场，不让带入氢气球的原因。如果提高安全性，就购买（H2：Ar=1：9）的混合气体。 百度百科：“由于氢气比惰性气体如氦气廉价，因此市面上销售的基本上都是氢气球。氢气与其他物体摩擦产生静电及遇到明火时，容易发生爆炸或燃烧。另外，市面上卖的五颜六色的小贩的气球，大多都是冲氢气的氢气球，比较安全的是充氦气的氦气球。” |
4楼2014-12-23 09:38:38
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