| 查看: 646 | 回复: 5 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
blueskyami木虫 (著名写手)
|
[交流]
[求助]如何制备与测试金属半导体的欧姆接触？
|
||
|
请问大家是如何制备与测试金属半导体的欧姆接触的？ 文献中常用的方法实现相对比较困难 希望高手指点 大家都怎么测试的？ 是否有比较简便的测试方法？ 主要关于测试样品的制备方法 [ Last edited by blueskyami on 2008-5-26 at 14:49 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
投稿Elsevier的Neoplasia杂志，到最后选publishing options时页面空白，不能完成投稿
已经有22人回复
-
申请26博士
已经有5人回复
-
职称评审没过，求安慰
已经有22人回复
-
垃圾破二本职称评审标准
已经有15人回复
-
EST投稿状态问题
已经有7人回复
-
毕业后当辅导员了，天天各种学生超烦
已经有4人回复
-
聘U V热熔胶研究人员
已经有10人回复
-
求助文献
已经有3人回复
-
投稿返修后收到这样的回复，还有希望吗
已经有8人回复
-
三无产品还有机会吗
已经有6人回复
5楼2008-05-26 21:33:48
bluesky238
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1685.5
- 散金: 1
- 帖子: 769
- 在线: 100.4小时
- 虫号: 491261
- 注册: 2008-01-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2008-05-26 09:31:44
blueskyami
木虫 (著名写手)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 4737.5
- 散金: 836
- 红花: 3
- 帖子: 1035
- 在线: 234.6小时
- 虫号: 119156
- 注册: 2005-11-27
- 性别: GG
- 专业: 有机分子功能材料化学
3楼2008-05-26 10:05:24
forever
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3203.2
- 散金: 25
- 帖子: 615
- 在线: 160小时
- 虫号: 108104
- 注册: 2005-11-18
- 性别: GG
- 专业: 光学
★ ★ ★ ★ ★
zt970831(金币+5,VIP+0):非常感谢您的帮助
zt970831(金币+5,VIP+0):非常感谢您的帮助
|
我师兄的论文中的相关部分，整理如下： 金属与重掺半导体接触，就形成了欧姆接触。不同的半导体需选用相应的金属才能达到效果。当接触层有近似的线性对称I-V关系，且又较小的接触电阻，说明达到了接近理想的欧姆接触。 一般方法：合金再生长，解除金属中掺杂剂的扩散；再次外延（双外延）；离子注入。 一般来讲， 1.半导体接触部分重掺杂后，将半导体清洗干净，放入蒸发系统的模具中，利用蒸镀的方法在重掺的一层进行金属蒸镀，并使金属层有一定的厚度。 2.蒸发结束后，在真空为10^(-5)--10^(-6)torr的真空系统中加热约400摄氏度2个小时，进行合金化处理。 可以参照这个方法，以及下面的文章，对上述方法的一些参数进行调节，如真空度，合金化处理的温度T和时间t进行优化的调节。 传一篇文章题目，希望有用，呵呵http://www.isload.com.cn/store/pw3knj6bvmoww（刚上传到爱存盘） A review of the theory and technology for ohmic contacts to group III–V compound semiconductors Solid-State Electronics Volume 18, Issue 6, June 1975, Pages 541-550 [ Last edited by forever on 2008-5-26 at 16:54 ] |
4楼2008-05-26 10:56:37