应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » [求助]如何制备与测试金属半导体的欧姆接触？
61/1返回列表
查看: 807  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。

blueskyami

木虫 (著名写手)

[交流] [求助]如何制备与测试金属半导体的欧姆接触？

请问大家是如何制备与测试金属半导体的欧姆接触的？
文献中常用的方法实现相对比较困难
希望高手指点
大家都怎么测试的？
是否有比较简便的测试方法？
主要关于测试样品的制备方法

[ Last edited by blueskyami on 2008-5-26 at 14:49 ]
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2008-05-25 23:08:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bluesky238

木虫 (正式写手)
★ ★
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流
先查查金属得功函数，对于P型半导体，用功函数比较大得，对于N型半导体，用功函数比较小得金属，一般是制备金属薄膜来做获得良好得接触，然后用探针接触金属电极，测量I-V曲线，线型即为作成功了欧姆接触
赞一下(10人) 回复此楼
2楼2008-05-26 09:31:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

blueskyami

木虫 (著名写手)
那制备金属薄膜有哪些简便方法呢？是否一定需要溅射和蒸镀？
赞一下 回复此楼
3楼2008-05-26 10:05:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

forever

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★
zt970831(金币+5,VIP+0):非常感谢您的帮助
我师兄的论文中的相关部分，整理如下：
金属与重掺半导体接触，就形成了欧姆接触。不同的半导体需选用相应的金属才能达到效果。当接触层有近似的线性对称I-V关系，且又较小的接触电阻，说明达到了接近理想的欧姆接触。
     一般方法：合金再生长，解除金属中掺杂剂的扩散；再次外延（双外延）；离子注入。

一般来讲，
1.半导体接触部分重掺杂后，将半导体清洗干净，放入蒸发系统的模具中，利用蒸镀的方法在重掺的一层进行金属蒸镀，并使金属层有一定的厚度。
2.蒸发结束后，在真空为10^(-5)--10^(-6)torr的真空系统中加热约400摄氏度2个小时，进行合金化处理。
可以参照这个方法，以及下面的文章，对上述方法的一些参数进行调节，如真空度，合金化处理的温度T和时间t进行优化的调节。

传一篇文章题目，希望有用，呵呵http://www.isload.com.cn/store/pw3knj6bvmoww（刚上传到爱存盘）

A review of the theory and technology for ohmic contacts to group III–V compound semiconductors

Solid-State Electronics
Volume 18, Issue 6, June 1975, Pages 541-550

[ Last edited by forever on 2008-5-26 at 16:54 ]
赞一下(10人) 回复此楼
4楼2008-05-26 10:56:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wobowobo

问题非常好，对这个方面也是刚刚接触，下了楼上的文章
赞一下 回复此楼
5楼2008-05-26 21:33:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

blueskyami

木虫 (著名写手)
多谢forever
回复此楼
6楼2008-05-31 14:44:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 blueskyami 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 6/300 2026-09-17 23:28 by cuPZTDXS3VOd
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 6/300 2026-09-17 23:16 by cuPZTDXS3VOd
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 6/300 2026-09-17 23:05 by cuPZTDXS3VOd
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +8 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 12/600 2026-09-17 22:15 by cuPZTDXS3VOd
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 5BDX0d0WFp7t 2026-09-15 4/200 2026-09-17 16:29 by 0ngsZVSCTS7z
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 4/200 2026-09-17 14:27 by ObVzqQQh1rrE
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 vZfe6xYu34yj 2026-09-14 4/200 2026-09-17 05:50 by k06BKNblrGRH
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 3/150 2026-09-17 05:14 by k06BKNblrGRH
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 40ms4Wlo4umh 2026-09-14 4/200 2026-09-17 04:26 by k06BKNblrGRH
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 23jxep3nCNZb 2026-09-14 4/200 2026-09-17 04:04 by k06BKNblrGRH
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 23jxep3nCNZb 2026-09-14 3/150 2026-09-17 03:52 by k06BKNblrGRH
[公派出国] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 6/300 2026-09-17 02:38 by Tql5LQhh5rLK
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +6 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 6/300 2026-09-17 02:14 by Tql5LQhh5rLK
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 6/300 2026-09-16 14:27 by i3KBRD19ERkG
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +7 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 7/350 2026-09-16 02:35 by DgNGHc3h5tPl
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +7 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 8/400 2026-09-16 02:23 by DgNGHc3h5tPl
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 17:39 by CgyNCDVNhGVg
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-15 16:35 by CgyNCDVNhGVg
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 4/200 2026-09-15 07:02 by 5BDX0d0WFp7t
[考博] 27秋季材料博士申请求助 10+3 Cahal1 2026-09-11 4/200 2026-09-14 08:50 by 北京莱茵编辑
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭