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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助光刻 套刻的问题
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磬乡

银虫 (初入文坛)

[求助] 求助光刻 套刻的问题 已有4人参与

本人想用掩膜进行光刻制作模板，最小精度要求能达到2um，需要套刻，套刻的对准精度要求为1um左右，请问各位虫友有谁知道哪个公司或者科研单位可以做，感激不尽！
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1楼 2014-12-03 16:17:46
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ww5286

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
对紫外来说你的要求非常非常高了，我觉得高校研究所应该做不了，联系公司吧，那么高精度为什么不用电子束，面积很大吗

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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7楼2014-12-03 22:46:33
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spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
磬乡: 金币+2, ★有帮助 2014-12-03 21:04:13
你在哪里？你的光刻要求不是很高，一般的高校，只要有做半导体的都会有光刻机，要套刻的话，你的第一次光刻要先做上定位标记。
赞一下 回复此楼
由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
2楼2014-12-03 17:02:29
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磬乡

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by spiderman504 at 2014-12-03 17:02:29
你在哪里？你的光刻要求不是很高，一般的高校，只要有做半导体的都会有光刻机，要套刻的话，你的第一次光刻要先做上定位标记。

我现在在杭州这边，你知道有哪些高校可以做吗？谢啦~
赞一下 回复此楼
3楼2014-12-03 19:47:15
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
浙大可以做啊，浙大的光电子实验室有光刻机，在紫荆港那边，不过他的光刻机很烂的，你可以联系个卖光刻机的公司，对他们来说你的要求是小菜一碟。
赞一下(1人) 回复此楼
我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
4楼2014-12-03 19:55:13
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