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| 本人想用掩膜进行光刻制作模板，最小精度要求能达到2um，需要套刻，套刻的对准精度要求为1um左右，请问各位虫友有谁知道哪个公司或者科研单位可以做，感激不尽！ |
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yuanxin5254
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