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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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磬乡

银虫 (初入文坛)

[求助] 求助光刻 套刻的问题 已有4人参与

本人想用掩膜进行光刻制作模板,最小精度要求能达到2um,需要套刻,套刻的对准精度要求为1um左右,请问各位虫友有谁知道哪个公司或者科研单位可以做,感激不尽!
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磬乡

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yuanxin5254 at 2014-12-03 19:55:13
浙大可以做啊,浙大的光电子实验室有光刻机,在紫荆港那边,不过他的光刻机很烂的,你可以联系个卖光刻机的公司,对他们来说你的要求是小菜一碟。

你说的是何赛灵老师那边吗?他们的套刻对准精度能达到多少呢?还有有没有其他的公司或者科研单位也可以做啊?求联系方式~
5楼2014-12-03 20:03:11
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spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
磬乡: 金币+2, 有帮助 2014-12-03 21:04:13
你在哪里?你的光刻要求不是很高,一般的高校,只要有做半导体的都会有光刻机,要套刻的话,你的第一次光刻要先做上定位标记。
由于您的签名过于个性,小木虫暂时无法显示。。。
2楼2014-12-03 17:02:29
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磬乡

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by spiderman504 at 2014-12-03 17:02:29
你在哪里?你的光刻要求不是很高,一般的高校,只要有做半导体的都会有光刻机,要套刻的话,你的第一次光刻要先做上定位标记。

我现在在杭州这边,你知道有哪些高校可以做吗?谢啦~
3楼2014-12-03 19:47:15
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
浙大可以做啊,浙大的光电子实验室有光刻机,在紫荆港那边,不过他的光刻机很烂的,你可以联系个卖光刻机的公司,对他们来说你的要求是小菜一碟。
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
4楼2014-12-03 19:55:13
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