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求助光刻 套刻的问题 已有4人参与
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| 本人想用掩膜进行光刻制作模板，最小精度要求能达到2um，需要套刻，套刻的对准精度要求为1um左右，请问各位虫友有谁知道哪个公司或者科研单位可以做，感激不尽！ |
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spiderman504
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2楼2014-12-03 17:02:29
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【答案】应助回帖
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你的描述非常的不清楚，当然，也被楼上众多二把刀误导了。 按照你原文的要求，2um的分辨率，1um的对准精度，可以用接触式光刻完成。 什么叫用光刻将两块掩膜对准？按照我从你上下文意思的理解，你这一句话三个关键词用错了俩，让人看着很崩溃。 把你的技术要求发到这个邮箱，wangyx@resemi.com，记住要有流程图，要有详细说明，否则效率太低。 |
9楼2014-12-04 18:56:40