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单面抛光重掺杂硅片如何加电压？已有1人参与
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| 看文献一般做场效应管都是用重掺杂硅片做衬底，生长二氧化硅介质层后，再生长一层石墨烯或其它材料。源和漏极加载在石墨烯上，但栅极电压Vg是加载在硅衬底上的。一般都只有个示意图，有人知道这个电压Vg具体是怎么加的吗？是在硅背面用导电胶吗?是否抛光是否有影响？是否还要除掉背面表面的自然氧化层呢?菜鸟请教，请勿见笑。多谢了！ |
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lvjfwill
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