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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
8楼: Originally posted by 杨大侠 at 2014-12-01 23:57:59
请问,什么是机械抛光圆片?也是用布轮磨吗?
...

硅片就是典型的圆片,机械抛光可以把粗糙度做的很小。
你可以搜索“晶圆机械抛光”
11楼2014-12-02 12:18:22
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杨大侠

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
9楼: Originally posted by 杨大侠 at 2014-12-01 23:59:53
这个我也不清楚,不过我觉得想把粗糙度降到纳米的水平,靠机械抛光的话太难了。
...

我也这样认为的
12楼2014-12-02 21:04:12
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