机械抛光粗糙度最小能达到多少？ - 无机非金属 - 材料测试

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专家顾问 (著名写手)

引用回帖:

8楼: Originally posted by 杨大侠 at 2014-12-01 23:57:59
请问，什么是机械抛光圆片？也是用布轮磨吗？
...

硅片就是典型的圆片，机械抛光可以把粗糙度做的很小。
你可以搜索“晶圆机械抛光”

11楼2014-12-02 12:18:22

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铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:

9楼: Originally posted by 杨大侠 at 2014-12-01 23:59:53
这个我也不清楚，不过我觉得想把粗糙度降到纳米的水平，靠机械抛光的话太难了。
...

我也这样认为的

12楼2014-12-02 21:04:12

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