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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
10楼: Originally posted by 木星人士 at 2014-12-03 22:14:49
在Si衬底上先涂S1805(或AR P3170)光刻胶,烘干,厚660nm;后涂负胶PGMI ,烘干,测两层胶总厚度,只有80nm. 怀疑PGMI 的溶剂能溶解S1805光刻胶。不知实验怎么办
另外考虑引入翻转工艺,先在Si衬底蒸镀Au  ...

环戊酮是强溶剂,忽略了。
在S1805上面,你除非涂一层乙醇之类弱溶剂的polymer,否则强溶剂都溶解胶。
要想不溶解,还可以试试PE-ALD,做S1805表面做一层纳米级的Al2O3,然后再涂另一层胶,做个隔绝。甚至sputter几个纳米的金属,也能起到隔绝的作用,对透光影响不大。
11楼2014-12-04 18:46:24
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木星人士

新虫 (正式写手)

引用回帖:
11楼: Originally posted by yswyx at 2014-12-04 18:46:24
环戊酮是强溶剂,忽略了。
在S1805上面,你除非涂一层乙醇之类弱溶剂的polymer,否则强溶剂都溶解胶。
要想不溶解,还可以试试PE-ALD,做S1805表面做一层纳米级的Al2O3,然后再涂另一层胶,做个隔绝。甚至sputte ...

谢谢,我还是尝试翻转工艺(我这边有员工做过翻转),如上一条回复你的消息中所述。

[ 发自小木虫客户端 ]
12楼2014-12-05 11:17:03
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rock2748

新虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

内容已删除
13楼2014-12-05 11:20:26
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树枝上的红薯

铁虫 (初入文坛)

同学您好,我们实验室最近也买了一瓶S1805的光刻胶,但是我们实验室没有匀胶的设备,请问您们实验室方便帮忙加工一下吗?
很高兴认识你。
14楼2018-07-12 17:42:35
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