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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » PMGI 和S1805光刻胶稀释液
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 木星人士 at 2014-12-03 22:14:49
在Si衬底上先涂S1805（或AR P3170）光刻胶，烘干，厚660nm；后涂负胶PGMI ,烘干，测两层胶总厚度，只有80nm. 怀疑PGMI 的溶剂能溶解S1805光刻胶。不知实验怎么办
另外考虑引入翻转工艺，先在Si衬底蒸镀Au  ...

环戊酮是强溶剂，忽略了。
在S1805上面，你除非涂一层乙醇之类弱溶剂的polymer，否则强溶剂都溶解胶。
要想不溶解，还可以试试PE-ALD，做S1805表面做一层纳米级的Al2O3，然后再涂另一层胶，做个隔绝。甚至sputter几个纳米的金属，也能起到隔绝的作用，对透光影响不大。
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11楼2014-12-04 18:46:24
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木星人士

新虫 (正式写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by yswyx at 2014-12-04 18:46:24
环戊酮是强溶剂，忽略了。
在S1805上面，你除非涂一层乙醇之类弱溶剂的polymer，否则强溶剂都溶解胶。
要想不溶解，还可以试试PE-ALD，做S1805表面做一层纳米级的Al2O3，然后再涂另一层胶，做个隔绝。甚至sputte ...

谢谢，我还是尝试翻转工艺（我这边有员工做过翻转），如上一条回复你的消息中所述。

[ 发自小木虫客户端 ]
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12楼2014-12-05 11:17:03
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rock2748

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

内容已删除
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13楼2014-12-05 11:20:26
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树枝上的红薯

铁虫 (初入文坛)
同学您好，我们实验室最近也买了一瓶S1805的光刻胶，但是我们实验室没有匀胶的设备，请问您们实验室方便帮忙加工一下吗？
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很高兴认识你。
14楼2018-07-12 17:42:35
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