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n370470948

银虫 (正式写手)

[交流] 对蓝宝衬底上外延成长GaN测试XRD,单抛双抛的影响 已有1人参与

测试XRD时,都是生长面在上,而抛光面在下,为的就是测试外延层,

但是文献中经常出现衬底的峰,那就跟抛光面没多大影响啊。反正衬底峰都会出现。

是这样吗?
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sailor805

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不是,找好角度是可以不出现的
2楼2014-10-29 10:51:56
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n370470948

银虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by sailor805 at 2014-10-29 10:51:56
不是,找好角度是可以不出现的

感谢回复
是这样吗? 跟生长的外延层厚度呢?  这个角度怎么找?薄膜一般扫2θ-W

但文献中出现衬底峰好像也没多大问题。
3楼2014-10-29 11:14:44
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