| 查看: 2522 | 回复: 20 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
PMMA 匀胶厚度 400nm已有4人参与
|
|||
大家好！小弟最近在用匀胶方法在Si上做PMMA薄膜，3000rpm/s， 30s得到的是80nm厚的膜，2000rpm/s得到110nm厚的膜，想再尝试1000rpm/s，不知道结果会怎样，即使得到400nm厚膜，粗糙度会不会很糟糕。大家有做过吗，望多交流指点，谢谢！ |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有260人回复
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 145648
- 红花: 1374
- 帖子: 93063
- 在线: 7693.7小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
18楼2014-10-26 12:11:58
yanzijing
金虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 662.9
- 帖子: 34
- 在线: 51小时
- 虫号: 3173144
- 注册: 2014-04-30
- 性别: GG
- 专业: 其他无机非金属材料
11楼2014-10-24 11:20:52
12楼2014-10-24 11:45:03
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
13楼2014-10-24 19:17:27