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木星人士

新虫 (正式写手)

[求助] PMMA 匀胶厚度 400nm已有4人参与

大家好!小弟最近在用匀胶方法在Si上做PMMA薄膜,3000rpm/s, 30s得到的是80nm厚的膜,2000rpm/s得到110nm厚的膜,想再尝试1000rpm/s,不知道结果会怎样,即使得到400nm厚膜,粗糙度会不会很糟糕。大家有做过吗,望多交流指点,谢谢!
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木星人士

新虫 (正式写手)

引用回帖:
15楼: Originally posted by jiangyushuai at 2014-10-25 17:55:17
你的PMMA是溶解在丙酮里的吗? 浓度是多少? 我甩胶的时候怎么甩都得不到很均匀的平面呢~~

这个我不知道,是别人买的,我只管用。。RMS没有测

[ 发自小木虫客户端 ]
16楼2014-10-26 07:47:52
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yanzijing

金虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问你的厚度是在呢么测出来的?准确么?
kakakakakka
11楼2014-10-24 11:20:52
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木星人士

新虫 (正式写手)

引用回帖:
11楼: Originally posted by yanzijing at 2014-10-24 11:20:52
请问你的厚度是在呢么测出来的?准确么?

台阶仪,算准确的

[ 发自小木虫客户端 ]
12楼2014-10-24 11:45:03
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这要看你对粗糙度有什么样的要求。
一般到1000转这种转速,胶的厚度均匀性会不好,厚胶边会变很厚,但大部分平面内还是比较平坦的,厚度变化很小。
13楼2014-10-24 19:17:27
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