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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 薄膜xrd分析，求助
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llyingann

新虫 (正式写手)

[求助] 薄膜xrd分析，求助 已有2人参与

做的是ZnS薄膜，大概三百纳米吧，请问这样的xrd是因为薄膜太薄引起的还是薄膜本身就是非晶呢？

薄膜xrd分析，求助
Graph1.jpg
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1楼 2014-09-30 09:54:18
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穿越千年

版主 (著名写手)

寂寞读书的小和尚

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
llyingann: 金币+2 2014-09-30 17:10:23
300nm太薄了，看你的图谱应该是背底噪声太严重了，而且非晶的馒头峰也不是这种形状的。
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热电材料，相变材料，阻变材料，APT，EBSD
2楼2014-09-30 13:29:39
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llyingann

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 穿越千年 at 2014-09-30 13:29:39
300nm太薄了，看你的图谱应该是背底噪声太严重了，而且非晶的馒头峰也不是这种形状的。

谢谢，请问一般要做到多厚才能测得出来呢
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3楼2014-09-30 15:32:58
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穿越千年

版主 (著名写手)

寂寞读书的小和尚

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主
引用回帖:
3楼: Originally posted by llyingann at 2014-09-30 15:32:58
谢谢，请问一般要做到多厚才能测得出来呢...

你这厚度估计要小角度掠射扫描，速度慢一点，具体和测试老师商量
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热电材料，相变材料，阻变材料，APT，EBSD
4楼2014-09-30 17:07:29
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
300nm。。应该测得出来的，如果是小角慢扫的话，说明这个膜结晶性很差
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5楼2014-09-30 20:55:41
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yanzijing

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 穿越千年 at 2014-09-30 13:29:39
300nm太薄了，看你的图谱应该是背底噪声太严重了，而且非晶的馒头峰也不是这种形状的。

我的不到300，但退火后特征峰明显，但是退火没在保护氛围中所以造成杂峰
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kakakakakka
6楼2014-10-06 15:45:35
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