24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1621  |  回复: 5
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

TAODEE

新虫 (初入文坛)

[求助] ICP刻蚀光刻负胶SU-8 已有1人参与

请问有没有同学用ICP刻蚀常见光刻胶su8的结构层?我用压印的方法做的结构,然后用ICP氧等离子体刻蚀残余的su8胶层。
但是发现刻蚀到一定程度后发现,残余层刻蚀不动了,结构别的地方刻蚀正常。请教大神如何解决,万分感谢。
(残余层距离结构顶端大约13微米左右)
附图刻蚀前后截面SEM照片。

ICP刻蚀光刻负胶SU-8
刻蚀后刻不动.jpg


ICP刻蚀光刻负胶SU-8-1
刻蚀前 .jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

....
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by TAODEE at 2014-10-08 21:55:03
请问可以用什么厚胶做压印并且Tg也比较低,PMMA?我现在用的ICP设备是用氦气冷却的,如果现阶段还要刻蚀su8,除了要背冷以外,还可以做些什么来改善着个状况。谢谢。...

这个厚度的话可以用4620.
4楼2014-10-09 21:43:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
SU8是不适合做刻蚀的,刻蚀的高温会让SU8碳化。所以刻蚀的时候必须用友背冷的设备做,才能给wafer和胶充分的降温。
SU8可以用来压印,但是并不是最好的选择。像你现在压的结果,可以用Tg比较低的厚光刻胶同样实现。
2楼2014-09-30 15:46:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

TAODEE

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-30 15:46:25
SU8是不适合做刻蚀的,刻蚀的高温会让SU8碳化。所以刻蚀的时候必须用友背冷的设备做,才能给wafer和胶充分的降温。
SU8可以用来压印,但是并不是最好的选择。像你现在压的结果,可以用Tg比较低的厚光刻胶同样实现。

请问可以用什么厚胶做压印并且Tg也比较低,PMMA?我现在用的ICP设备是用氦气冷却的,如果现阶段还要刻蚀su8,除了要背冷以外,还可以做些什么来改善着个状况。谢谢。
....
3楼2014-10-08 21:55:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

TAODEE

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2014-10-09 21:43:12
这个厚度的话可以用4620....

是AZ4620吗?您应该有过压印su8的经验吧,防粘方面有什么要注意的地方吗(我用的是硅模具)?常用的防粘试剂貌似效果不好,我正考虑重做防粘或换防粘试剂。谢谢
....
5楼2014-10-10 10:56:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求化学调剂 +5 wulanna 2026-03-28 5/250 2026-03-29 23:39 by 飞行日记西
[考博] 26申博自荐 +6 whh869393 2026-03-24 6/300 2026-03-29 21:05 by nxgogo
[考研] 各位老师好,我的一志愿为北京科技大学085601材料专硕 +9 Koxui 2026-03-28 9/450 2026-03-29 20:43 by 无际的草原
[考研] 08工科求调剂286 +3 tgs_001 2026-03-28 3/150 2026-03-29 18:29 by 1018329917
[考研] 322求调剂:一志愿湖南大学 材料与化工(085600),已过六级。 +4 XX小邓 2026-03-29 4/200 2026-03-29 17:34 by 无际的草原
[考研] 334分 一志愿武理 材料求调剂 +7 李李不服输 2026-03-26 7/350 2026-03-29 16:25 by 学员8dgXkO
[考研] 086000生物与医药调剂 +5 Feisty。 2026-03-28 9/450 2026-03-29 12:02 by longlotian
[考研] 332求调剂 +8 蕉蕉123 2026-03-28 8/400 2026-03-29 10:46 by 周梓丹
[考研] 329求调剂 +7 星野? 2026-03-26 7/350 2026-03-29 06:43 by 544594351
[考研] 一志愿南京航空航天大学材料学硕求调剂 +3 @taotao 2026-03-28 3/150 2026-03-28 10:26 by JourneyLucky
[考研] 材料求调剂一志愿哈工大324 +7 闫旭东 2026-03-28 9/450 2026-03-28 08:51 by Xu de nuo
[考研] 086502化学工程342求调剂 +6 阿姨复古不过 2026-03-27 6/300 2026-03-28 07:06 by wangy0907
[考研] 一志愿上海理工能源动力(085800)310分求调剂 +3 zhangmingc 2026-03-27 4/200 2026-03-27 19:01 by 给你你注意休息
[考研] 求调剂 +3 刘柯@ 2026-03-24 4/200 2026-03-27 11:28 by shangxh
[考研] 321求调剂 +6 Ymlll 2026-03-24 6/300 2026-03-26 20:50 by 不吃魚的貓
[考研] 机械学硕310分,数一英一,一志愿211本科双非找调剂信息 +3 @357 2026-03-25 3/150 2026-03-26 16:34 by by.MENG
[考研] 303求调剂 +6 蓝山月 2026-03-25 6/300 2026-03-25 22:47 by 418490947
[考研] 生物技术与工程 +3 1294608413 2026-03-25 4/200 2026-03-25 18:02 by 1294608413
[考研] 网络空间安全0839招调剂 +4 w320357296 2026-03-25 6/300 2026-03-25 17:59 by 255671
[考研] 求调剂 +3 李李不服输 2026-03-25 3/150 2026-03-25 13:03 by cmz0325
信息提示
请填处理意见