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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » AFM纳米压痕
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wdhexx

荣誉版主 (知名作家)

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主
引用回帖:
9楼: Originally posted by 雨落小城 at 2014-09-25 14:06:04
好办法，用铜网支撑。但是我的是纳米级别。。，后边如果做薄膜的话，我采取在硅片上打个大约3um的孔，然后铺薄膜上去让它悬浮，然后在孔中间压痕，但问题是这样的话，卸载曲线还能用赫兹理论或O&P法拟合吗...

最好是空铜网，最简单那种无碳膜铜网
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11楼2014-09-25 14:13:54
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明光

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
压痕分析多靠曲线，其次靠压痕点（坑）。首先，曲线不准，因为AFM针尖的悬臂很软（刚度或弹性系数小），一般都比样品小或者和样品差不多，曲线不可信，也不好扣除悬臂影响；其次，一般使用水平悬臂，压痕不可能为点状，而应为线状，也是没法分析的。

采用竖直的悬臂可以实现，不过需要悬臂的刚度足够大，其实这就是纳米压痕，常见的纳米压痕有CSM、hysitron、MTS。。。。。
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心平气和，谦虚谨慎，创新上进！
12楼2014-09-25 15:17:27
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exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 雨落小城 at 2014-09-25 14:08:08
现在测的时100多个纳米厚的纳米带，比较硬，而且样品粘膜，拍的SEM图像，针尖都粘样品了，而且压溃了，粘附力非常大...

哦，这么薄啊。那需要控制好下压的速度、数据采集频率，最主要是分析数据。
另外你准备在硅片上打孔铺膜的方法怎么计算硬度？通过形变量吗？
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13楼2014-09-25 22:37:05
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-09-25 08:33:51
最近在哪里都能看到你哈~~~~
话说我最近也在玩AFM~~~~~~~...

我有空了就回回问题
AFM太娇贵了……
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14楼2014-09-26 17:18:08
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雨落小城

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
13楼: Originally posted by exciting73 at 2014-09-25 22:37:05
哦，这么薄啊。那需要控制好下压的速度、数据采集频率，最主要是分析数据。
另外你准备在硅片上打孔铺膜的方法怎么计算硬度？通过形变量吗？...

这正是我头疼的问题所在呀，它这个边界条件不一样了，还能用赫兹理论拟合卸载曲线么，要是我的孔有3个微米，我压痕的范围很小，能不能近似继续用0P法计算？或者说纳米压痕仪可以测应力应变曲线，直接算弹性模量？？？

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15楼2014-09-29 10:50:15
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