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wdhexx

荣誉版主 (知名作家)

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引用回帖:
9楼: Originally posted by 雨落小城 at 2014-09-25 14:06:04
好办法,用铜网支撑。但是我的是纳米级别。。,后边如果做薄膜的话,我采取在硅片上打个大约3um的孔,然后铺薄膜上去让它悬浮,然后在孔中间压痕,但问题是这样的话,卸载曲线还能用赫兹理论或O&P法拟合吗...

最好是空铜网,最简单那种无碳膜铜网
11楼2014-09-25 14:13:54
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明光

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
压痕分析多靠曲线,其次靠压痕点(坑)。首先,曲线不准,因为AFM针尖的悬臂很软(刚度或弹性系数小),一般都比样品小或者和样品差不多,曲线不可信,也不好扣除悬臂影响;其次,一般使用水平悬臂,压痕不可能为点状,而应为线状,也是没法分析的。

采用竖直的悬臂可以实现,不过需要悬臂的刚度足够大,其实这就是纳米压痕,常见的纳米压痕有CSM、hysitron、MTS。。。。。
心平气和,谦虚谨慎,创新上进!
12楼2014-09-25 15:17:27
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exciting73

金虫 (著名写手)


引用回帖:
10楼: Originally posted by 雨落小城 at 2014-09-25 14:08:08
现在测的时100多个纳米厚的纳米带,比较硬,而且样品粘膜,拍的SEM图像,针尖都粘样品了,而且压溃了,粘附力非常大...

哦,这么薄啊。那需要控制好下压的速度、数据采集频率,最主要是分析数据。
另外你准备在硅片上打孔铺膜的方法怎么计算硬度?通过形变量吗?
13楼2014-09-25 22:37:05
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
4楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-09-25 08:33:51
最近在哪里都能看到你哈~~~~
话说我最近也在玩AFM~~~~~~~...

我有空了就回回问题
AFM太娇贵了……
14楼2014-09-26 17:18:08
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雨落小城

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
13楼: Originally posted by exciting73 at 2014-09-25 22:37:05
哦,这么薄啊。那需要控制好下压的速度、数据采集频率,最主要是分析数据。
另外你准备在硅片上打孔铺膜的方法怎么计算硬度?通过形变量吗?...

这正是我头疼的问题所在呀,它这个边界条件不一样了,还能用赫兹理论拟合卸载曲线么,要是我的孔有3个微米,我压痕的范围很小,能不能近似继续用0P法计算?或者说纳米压痕仪可以测应力应变曲线,直接算弹性模量???

[ 发自小木虫客户端 ]
15楼2014-09-29 10:50:15
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