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XRR测薄膜厚度 已有2人参与
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最近用X ray reflectivity来测薄膜厚度，用的是ITO/glass substrate薄膜材料是TiO2，感觉用软件拟合得到的厚度结果并不理想。希望有相关经验的虫友能够帮忙解答一下，一般用的XRR数据分析软件是哪个，做XRR的时候样品尺寸的影响大不大，一般的样品尺寸有多少，我最近打算把substrate换成硅片希望能够得到更好的结果。 非常感谢！ |
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isord
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