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XRR测薄膜厚度
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zhaoyue0512
新虫
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专业: 半导体材料
[
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]
XRR测薄膜厚度
已有2人参与
最近用X ray reflectivity来测薄膜厚度,用的是ITO/glass substrate薄膜材料是TiO2,感觉用软件拟合得到的厚度结果并不理想。希望有相关经验的虫友能够帮忙解答一下,一般用的XRR数据分析软件是哪个,做XRR的时候样品尺寸的影响大不大,一般的样品尺寸有多少,我最近打算把substrate换成硅片希望能够得到更好的结果。
非常感谢!
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1楼
2014-08-25 22:41:59
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sty112
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专业: 结构化学
管辖:
材料工程
软件也要更新外,不妨换个新仪器测测
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6楼
2015-09-05 15:58:36
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cc250
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专业: 无机非金属类光电信息与功
你用的什么软件?
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无不良史
2楼
2014-09-11 10:40:43
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zhaoyue0512
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专业: 半导体材料
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2楼
:
Originally posted by
cc250
at 2014-09-11 10:40:43
你用的什么软件?
GXRR Rigaku的一款比较老的软件
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3楼
2014-09-13 04:20:26
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ZJtao
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专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
楼主能把这个软件给我一个吗?万分感谢! 邮箱:1249762071@qq.com
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4楼
2015-04-22 11:34:39
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