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_____Crc

新虫 (小有名气)

[交流] 分子泵开电源不到2分钟就警报是怎么回事啊。。。。 已有12人参与

做镀膜实验,机械泵抽到1PA左右开分子泵,刚打开分子泵电源,按了start,还没来得及开高阀就响警报了,显示的OL2,好像是过流保护的意思。。。。。。我感觉我的步骤没问题啊,求大神帮我想想原因~
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tfyu2000

金虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
高阀没开,保持腔内真空,停止真空泵的运作是允许的。对一些要求高的试验,未免振动,停泵甚至是必须的。但腔内虽然是真空,高阀之外的管道在停泵后已与大气连通。你第二天只开机械泵1分钟就打开分子泵,当然报警。
24楼2014-08-05 05:05:51
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I@ZHONGDA

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
真空度不够,分子泵受不了
一切皆空!
3楼2014-08-01 23:50:31
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metaliium

银虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
分子泵要抽到10的-2次Pa才打开的好不好
4楼2014-08-02 00:08:16
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碎碎莫念

金虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
要抽低一点再开分子泵

[ 发自小木虫客户端 ]
创意源于生活
5楼2014-08-02 02:19:25
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