应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 射频磁控溅射二氧化硅问题
51/1返回列表
查看: 2303  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

bianlan

新虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射二氧化硅问题 已有1人参与

我用射频磁控溅射镀二氧化硅薄膜，能起辉，功率约160w，溅射2小时，拿出来感觉没镀上，颜色上没有任何差异？求问是什么原因.若镀上二氧化硅是什么颜色？辉光应该是什么颜色？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-07-23 14:24:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

erhuo他爸

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

二氧化硅溅射出来好像是透明的诶，可以测厚度的变化啊
赞一下 回复此楼
7楼2017-09-12 11:34:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

huanyingmofa

铁虫 (初入文坛)
最近刚准备做绝缘膜，希望能交流一下

好像绝缘膜的功率要求比较高

不知道你的各项参数怎么设定的，压强，通气速率，功率都是多少
赞一下 回复此楼
2楼2014-07-29 15:46:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bianlan

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by huanyingmofa at 2014-07-29 15:46:33
最近刚准备做绝缘膜，希望能交流一下

好像绝缘膜的功率要求比较高

不知道你的各项参数怎么设定的，压强，通气速率，功率都是多少

我刚开始使用这个设备，第一次用，没什么经验，设定的压强为0.5Pa，通氩气，流量为37.7，单位吧，应该是L/min吧？（不确定），功率为160W左右。也希望你能提供一些经验哈。
赞一下 回复此楼
3楼2014-07-30 08:40:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huanyingmofa

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by bianlan at 2014-07-30 08:40:04
我刚开始使用这个设备，第一次用，没什么经验，设定的压强为0.5Pa，通氩气，流量为37.7，单位吧，应该是L/min吧？（不确定），功率为160W左右。也希望你能提供一些经验哈。...

氩气的流量应该是sccm，mL/min
我的参数和你差不多，150W，起辉压强4Pa，起辉后0.4Pa，流速7sccm

但是因为怕靶材受热裂开，每次只敢做10分钟，然后停10分钟，再做
赞一下 回复此楼
4楼2014-07-31 16:19:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703化学调剂，求导师收 +7 天天好运来上岸� 2026-03-24 7/350 2026-03-24 20:26 by peike
[有机交流] 有机合成求助 20+3 FENGSHUJEI 2026-03-23 5/250 2026-03-24 19:31 by 88817753
[考研] 274求调剂 +5 顾九笙要谦虚 2026-03-24 5/250 2026-03-24 18:43 by jhhcooi
[考研] 一志愿华东理工大学081700，初试分数271 +5 kotoko_ik 2026-03-23 6/300 2026-03-24 10:29 by 学术搬砖er
[考研] 344求调剂 +3 desto 2026-03-24 3/150 2026-03-24 10:09 by 搏击518
[考博] 26申博自荐 +3 whh869393 2026-03-24 3/150 2026-03-24 09:55 by 21018060
[考研] 求调剂 +7 十三加油 2026-03-21 7/350 2026-03-23 23:48 by 热情沙漠
[考研] 336化工调剂 +4 王大坦1 2026-03-23 5/250 2026-03-23 18:32 by allen-yin
[考研] 一志愿上海交大生物与医药专硕324分，求调剂 +5 jiajunX 2026-03-22 5/250 2026-03-23 18:07 by YMU施老师
[考研] 316求调剂 +7 梁茜雯 2026-03-19 7/350 2026-03-23 16:21 by lingjue
[考研] 293求调剂 +3 涛涛Wjt 2026-03-22 5/250 2026-03-22 22:21 by jiangpengfei
[考研] 一志愿中南化学（0703）总分337求调剂 +9 niko- 2026-03-19 10/500 2026-03-22 16:08 by ColorlessPI
[考研] 324求调剂 +6 lucky呀呀呀鸭 2026-03-20 6/300 2026-03-22 16:01 by ColorlessPI
[考研] 319求调剂 +4 小力气珂珂 2026-03-20 4/200 2026-03-22 15:53 by ColorlessPI
[考研] 材料与化工（0856）304求B区调剂 +3 邱gl 2026-03-20 7/350 2026-03-21 19:05 by 15709483992
[考研] 0703化学调剂 +4 妮妮ninicgb 2026-03-21 4/200 2026-03-21 18:39 by 学员8dgXkO
[考研] 求调剂 +3 .m.. 2026-03-21 4/200 2026-03-21 16:25 by barlinike
[考研] 332求调剂 +3 凤凰院丁真 2026-03-20 3/150 2026-03-21 10:27 by luoyongfeng
[考研] 材料学学硕080502 337求调剂-一志愿华中科技大学 +4 顺顺顺mr 2026-03-18 5/250 2026-03-21 10:22 by luoyongfeng
[考研] 一志愿南理工085701环境302求调剂院校 +3 葵梓卫队 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:28 by zhukairuo
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭