应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 射频磁控溅射二氧化硅问题
51/1返回列表
查看: 2523  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

bianlan

新虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射二氧化硅问题 已有1人参与

我用射频磁控溅射镀二氧化硅薄膜，能起辉，功率约160w，溅射2小时，拿出来感觉没镀上，颜色上没有任何差异？求问是什么原因.若镀上二氧化硅是什么颜色？辉光应该是什么颜色？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-07-23 14:24:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

erhuo他爸

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

二氧化硅溅射出来好像是透明的诶，可以测厚度的变化啊
赞一下 回复此楼
7楼2017-09-12 11:34:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

huanyingmofa

铁虫 (初入文坛)
最近刚准备做绝缘膜，希望能交流一下

好像绝缘膜的功率要求比较高

不知道你的各项参数怎么设定的，压强，通气速率，功率都是多少
赞一下 回复此楼
2楼2014-07-29 15:46:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bianlan

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by huanyingmofa at 2014-07-29 15:46:33
最近刚准备做绝缘膜，希望能交流一下

好像绝缘膜的功率要求比较高

不知道你的各项参数怎么设定的，压强，通气速率，功率都是多少

我刚开始使用这个设备，第一次用，没什么经验，设定的压强为0.5Pa，通氩气，流量为37.7，单位吧，应该是L/min吧？（不确定），功率为160W左右。也希望你能提供一些经验哈。
赞一下 回复此楼
3楼2014-07-30 08:40:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huanyingmofa

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by bianlan at 2014-07-30 08:40:04
我刚开始使用这个设备，第一次用，没什么经验，设定的压强为0.5Pa，通氩气，流量为37.7，单位吧，应该是L/min吧？（不确定），功率为160W左右。也希望你能提供一些经验哈。...

氩气的流量应该是sccm，mL/min
我的参数和你差不多，150W，起辉压强4Pa，起辉后0.4Pa，流速7sccm

但是因为怕靶材受热裂开，每次只敢做10分钟，然后停10分钟，再做
赞一下 回复此楼
4楼2014-07-31 16:19:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 上海工程技术大学激光智能制造课题组招收博士研究生 +5 两三岁ss 2026-09-14 5/250 2026-09-15 19:18 by oxidpl
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 40ms4Wlo4umh 2026-09-14 3/150 2026-09-15 18:59 by CgyNCDVNhGVg
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 17:59 by CgyNCDVNhGVg
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-15 16:59 by CgyNCDVNhGVg
[博后之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-15 16:50 by CgyNCDVNhGVg
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 7/350 2026-09-15 16:47 by CgyNCDVNhGVg
[公派出国] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 4/200 2026-09-15 16:26 by CgyNCDVNhGVg
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 6/300 2026-09-15 15:35 by CgyNCDVNhGVg
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 3/150 2026-09-15 15:27 by CgyNCDVNhGVg
[找工作] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +6 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 6/300 2026-09-15 15:02 by CgyNCDVNhGVg
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 4/200 2026-09-15 14:14 by VMDqgnlKimtZ
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +5 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 5/250 2026-09-15 14:02 by VMDqgnlKimtZ
[教师之家] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 08:26 by C79jjtjAKjEn
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-15 08:02 by C79jjtjAKjEn
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-15 07:50 by C79jjtjAKjEn
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 4/200 2026-09-15 06:14 by 5BDX0d0WFp7t
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +6 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 7/350 2026-09-15 05:22 by 5BDX0d0WFp7t
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 4/200 2026-09-14 23:24 by vZfe6xYu34yj
[基金申请] 求教各位大神：2026教育部人文社科青年基金项目何时公示呀？ +5 云宴山人 2026-09-10 7/350 2026-09-14 12:11 by ecnu2013
[找工作] 浙江师范大学是怎么坑我的 +6 recruit123 2026-09-09 6/300 2026-09-14 12:00 by 萨仁其其格
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭