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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 射频磁控溅射二氧化硅问题
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bianlan

新虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射二氧化硅问题 已有1人参与

我用射频磁控溅射镀二氧化硅薄膜，能起辉，功率约160w，溅射2小时，拿出来感觉没镀上，颜色上没有任何差异？求问是什么原因.若镀上二氧化硅是什么颜色？辉光应该是什么颜色？
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1楼 2014-07-23 14:24:44
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fghijklmn

木虫 (正式写手)
虽然是个坟……但是我和楼主的情况一样。蓝宝石沉底，二氧化硅靶材，氩气流量8sccm，120w，十分钟。镀完后拿出来感觉就没任何变化……楼主后来解决了吗？

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5楼2017-01-05 14:55:10
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huanyingmofa

铁虫 (初入文坛)
最近刚准备做绝缘膜，希望能交流一下

好像绝缘膜的功率要求比较高

不知道你的各项参数怎么设定的，压强，通气速率，功率都是多少
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2楼2014-07-29 15:46:33
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bianlan

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by huanyingmofa at 2014-07-29 15:46:33
最近刚准备做绝缘膜，希望能交流一下

好像绝缘膜的功率要求比较高

不知道你的各项参数怎么设定的，压强，通气速率，功率都是多少

我刚开始使用这个设备，第一次用，没什么经验，设定的压强为0.5Pa，通氩气，流量为37.7，单位吧，应该是L/min吧？（不确定），功率为160W左右。也希望你能提供一些经验哈。
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3楼2014-07-30 08:40:04
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huanyingmofa

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by bianlan at 2014-07-30 08:40:04
我刚开始使用这个设备，第一次用，没什么经验，设定的压强为0.5Pa，通氩气，流量为37.7，单位吧，应该是L/min吧？（不确定），功率为160W左右。也希望你能提供一些经验哈。...

氩气的流量应该是sccm，mL/min
我的参数和你差不多，150W，起辉压强4Pa，起辉后0.4Pa，流速7sccm

但是因为怕靶材受热裂开，每次只敢做10分钟，然后停10分钟，再做
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4楼2014-07-31 16:19:40
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