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射频磁控溅射二氧化硅问题 已有1人参与
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| 我用射频磁控溅射镀二氧化硅薄膜，能起辉，功率约160w，溅射2小时，拿出来感觉没镀上，颜色上没有任何差异？求问是什么原因.若镀上二氧化硅是什么颜色？辉光应该是什么颜色？ |
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fghijklmn
木虫 (正式写手)
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- 在线: 80.5小时
- 虫号: 2963534
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- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
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虽然是个坟……但是我和楼主的情况一样。蓝宝石沉底，二氧化硅靶材，氩气流量8sccm，120w，十分钟。镀完后拿出来感觉就没任何变化……楼主后来解决了吗？ 发自小木虫Android客户端 |
5楼2017-01-05 14:55:10
2楼2014-07-29 15:46:33
3楼2014-07-30 08:40:04
4楼2014-07-31 16:19:40
6