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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铝靶电流不稳定怎么回事
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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 铝靶电流不稳定怎么回事 已有6人参与

最近在使用柱状铝靶时，问题连连，铝靶接的直流电源，电流为恒流形式：
其一. 电压低，不正常，可能是由于某地方接触，增大电压时会短路开不起来
其二. 当测量靶时，其中靶一支靶短路（一开始没有短路，开一会后就短路了），另一支靶的电流就很低了，电压很高600V以上了，正常情况应该是400V，即使比较低的电流也相当不稳定，电流跳的不停，不知道怎么回事；
其三. 增加靶电流的时候，炉内气压也增加，而且比较明显。
这三个问题今天还同时出现，咋回事啊
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1楼 2014-07-04 10:40:16
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by 甲子湖 at 2014-07-23 15:32:43
这是靶中毒吗？平面靶用直流的话会中毒。

不完全是，靶有问题。
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13楼2014-07-23 15:46:20
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liaofang20

银虫 (小有名气)
没人理我，
没人遇到过这种情况吗？
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2楼2014-07-05 10:01:43
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小偷爸爸

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, ★有帮助, 磁控溅射镀金属 2014-07-08 08:05:48
你说的是什么工艺？你这样说靶材，有很多设备都用靶材，都分不清了
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3楼2014-07-07 21:30:42
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mokangxin

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+2, ★有帮助, 还没拆下来看，不过我这个现象跟你说的恰相反。 2014-07-08 08:06:59
liaofang20: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-07-09 07:58:56
看下磁场是否有问题，我曾经碰到过电流很小但是电压越来越高，后来发现磁场有问题导致。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2014-07-08 08:01:32
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