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薄膜分析测试办法 已有4人参与
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各位： 我们最近有一批样品，是圆柱体，直径9mm，高度10mm，基层是高纯硅。基体的外表面有一层污染膜，颜色比较多，有的是蓝色，有的是红色，有的深棕色。现在想找办法分析一下，关键是想知道这层膜究竟是什么元素组成的？如果能知道结构，那就更好了。从理论上分析，污染膜要么是氧化物，要么是氮化物，膜厚不确定，从已有文献来看，可能是几个微米。 请教各位高手，有什么办法可以做到？如果是XRD，这样的样品可以直接测吗？因为我们试过将薄膜刮去，硬度太大，没法操作。在西安，有没有可以做的地方，推荐一下。 谢谢！ |
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