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书名Fundamental Principles of Engineering Nanometrology 页数384 出版社艾斯维尔 作者Richard Leach ISBN: 978-1-4557-7753-2 目录Acknowledgements...................................................................................................xi List of Figures........................................................................................................ xiii List of Tables..........................................................................................................xxi CHAPTER 1 Introduction to Metrology for Advanced Manufacturing and Micro- and Nanotechnology ..........1 1.1 What is engineering nanometrology?............................................4 1.2 The contents of this book and differences to edition 1 ................4 References .............................................................................................5 CHAPTER 2 Some Basics of Measurement .............................................7 2.1 Introduction to measurement.........................................................7 2.2 Units of measurement and the SI..................................................9 2.3 Length ..........................................................................................10 2.4 Mass .............................................................................................14 2.5 Force ............................................................................................15 2.6 Angle............................................................................................16 2.7 Traceability ..................................................................................18 2.8 Accuracy, precision, resolution, error and uncertainty...............19 2.8.1 Accuracy and precision .....................................................20 2.8.2 Resolution and error ..........................................................21 2.8.3 Uncertainty in measurement..............................................22 2.9 The laser.......................................................................................28 2.9.1 Theory of the heliumneon laser .....................................28 2.9.2 Single-mode laser wavelength stabilisation schemes..............................................................................30 2.9.3 Laser frequency stabilisation using saturated absorption...........................................................................30 2.9.4 Zeeman-stabilised 633nm lasers.......................................33 2.9.5 Frequency calibration of a (stabilised) 633nm laser ........34 2.9.6 Modern and future laser frequency standards...................35 References ...........................................................................................36 CHAPTER 3 Precision Measurement Instrumentation Some Design Principles ...................................................................41 3.1 Geometrical considerations .........................................................42 3.2 Kinematic design .........................................................................43 3.2.1 The Kelvin clamps.............................................................44 3.2.2 A single degree of freedom motion device.......................46  (Micro and Nano Technologies) Richard Leach-Fundamental Principles of Engin.jpg |
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