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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » GaAs片上光刻失败后，衬底二次利用，但是出现了漂胶！怎么办？
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553805507

铁虫 (小有名气)
漂胶表面你衬底表面清洗不干净、附着力差。可以尝试使用SPM清洗后+HMDS，或使用O2plasma改变表面状况
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11楼2019-07-17 08:29:01
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