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离子束沉积薄膜技术及应用-刘金声 著
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内容推荐 本书系统地介绍先进离子束沉积（IBD）薄膜技术及应用。包括IBD薄膜技术基础、离子束溅射沉积（IBSD）薄膜技术研究及应用、双离子束溅射沉积（DIBSD）薄膜和薄膜改性方法、离子束反应溅射沉积（IBRSD）薄膜方法、离子束轰击生长薄膜效应及离子束辅助沉积（IBAD）薄膜方法等内容。 本书总结了作者多年来在该技术领域的研究成果，取材新颖，理论联系实际。书中提供了丰富的研究方法及范例，对普及和推广离子束沉积薄膜技术具有重要知道意义。 该书可供从事近代薄膜科学技术与材料研究人员和工艺师等阅读，也可供理工科大专院校有关专业师生参考。 目录 第1章离子束沉积（IBD）薄膜原理. 1.1离子束的输运及非热平衡沉积薄膜过程 1.1.1运行离子的碰撞现象 1.1.2非热平衡条件下的IBSD薄膜原理 1.2离子束溅射粒子的基本性质 1.2.1溅射原子通量的构成 1.2.2溅射原子通量的分布 1.2.3溅射合金成分原子通量的分布 1.2.4溅射原子能量的分布 1.2.5合金的溅射特性 1.2.6超薄薄膜的生长 1.2.7氧化物的溅射特点 1.3惰性气体离子的气种效应 1.3.1薄 膜质量厚度分析及晶格膨胀现象 1.3.2薄膜中掺气的气种效应 1.3.3气种效应改变薄膜性抽的典型实例 1.4离子束轰击固体表面引起的重要效应 1.4.1离子束清洗和增强薄膜附着力的作用 1.4.2离子束轰击引起材料表面损伤及缺陷增强扩散现象 .1.4.3离子束轰击引起的表面结构再造现象.. 1.4.4离子束轰表面结构再造技术的应用 第2章IBSD薄膜技术 2.1控制生长薄膜结构及性质的方法 2.2薄膜晶体结构的形成及演变 2.3薄膜结构与薄膜内应力 2.4IBSD薄膜技术的典型应用 第3章双离子束溅射沉积（DIBSD）薄膜技术 3.1双Ar+离子束溅射沉积薄膜改性方法 3.2双离子束技术的近期进展 第4章IBRSD薄膜方法及应用 4.1IBRSD过程的基本方式 4.2IBRSD及反应合成化合物薄膜 4.3IBRSDIVA和IVB族过渡金属氮化物薄膜 4.4IBRSD氧化物薄膜 第5章IBAD薄膜方法及应用 5.1离子轰击对生长薄膜的基本作用 5.2IBAD薄膜方法概述 5.3IBAD薄膜方法的基础 5.4IBAD光学薄膜的应用 参考文献...  9787118028829.jpg |
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