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龙骧将军

铁虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
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在线: 103.7小时
虫号: 2025519
注册: 2012-09-24
性别: GG
专业: 高分子物理与高分子物理化

[求助] su8光刻已有2人参与

我用的是su8 2075 为什么我所形成的圆柱体  上大下小底部看上去挺圆的但顶部有多余的部分怎么也显影不掉

参数：780rmp  40秒 4240rmp 90秒
前烘 65℃  3min  95℃ 9min
曝光 100秒
后烘  65℃  2min  94℃ 7min
膜厚大概40微米
掩膜版是直径为20微米的圆形阵列  基底是普通玻璃
我也试过曝光30秒，结果相似但与基底的结合性更差

搜狗截图20140515191250.jpg

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@静静一yi

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whathurtsmorethepainofhardworkorthepainofregret

1楼 2014-05-15 19:20:15

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龙骧将军

铁虫 (小有名气)

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引用回帖:

6楼: Originally posted by yswyx at 2014-05-17 15:46:21
曝光不足一般是会有T-top，但下面会小很多，比mask上面肯定要小，而且容易倒伏。
你这个T-top底部尺寸没有小，说明曝光剂量足够了。那么T-top的形成应该属于曝光过量，尤其是玻璃衬底的底部反射会很强烈。另外，可 ...

谢谢您我今天就去试下曝光10秒的