| 查看: 2554 | 回复: 13 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
龙骧将军铁虫 (小有名气)
|
[求助]
su8光刻 已有2人参与
|
||
|
我用的是su8 2075 为什么我所形成的圆柱体 上大下小 底部看上去挺圆的 但顶部有多余的部分怎么也显影不掉 参数：780rmp 40秒 4240rmp 90秒 前烘 65℃ 3min 95℃ 9min 曝光 100秒 后烘 65℃ 2min 94℃ 7min 膜厚大概40微米 掩膜版是直径为20微米的圆形阵列 基底是普通玻璃 我也试过曝光30秒，结果相似 但与基底的结合性更差  搜狗截图20140515191250.jpg |
回复此楼» 本帖@通知
» 猜你喜欢
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有164人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
-
湖北师范大学复试调剂
已经有0人回复
静静一yi
捐助贵宾 (著名写手)
静静
- 应助: 61 (初中生)
- 金币: 1334.7
- 散金: 4327
- 红花: 31
- 帖子: 1316
- 在线: 195.8小时
- 虫号: 2025780
- 注册: 2012-09-24
- 性别: MM
- 专业: 半导体光电子器件
7楼2014-05-18 15:09:27
tsung
木虫 (小有名气)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 1659.9
- 散金: 12
- 帖子: 171
- 在线: 228.2小时
- 虫号: 2177061
- 注册: 2012-12-10
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
2楼2014-05-15 20:57:33
龙骧将军
铁虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 745.7
- 帖子: 228
- 在线: 103.7小时
- 虫号: 2025519
- 注册: 2012-09-24
- 性别: GG
- 专业: 高分子物理与高分子物理化
3楼2014-05-16 10:04:26
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
4楼2014-05-16 14:41:36
