应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » Al膜方阻测量。
52/1返回列表
查看: 2425  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

Apple.D.

金虫 (正式写手)

[求助] Al膜方阻测量。 已有3人参与

Al的电阻率是2.83*10-6Ω·cm，理论计算Al薄膜厚度为3um时的方阻值为0.943mΩ/□（计算方法：电阻率/薄膜厚度），测量Al靶材的方阻8mΩ/□左右，Al靶材的厚度为6mm。
我用磁控溅射制备3um厚度的Al薄l膜，基底是玻璃，用四探针测量其方阻值为50mΩ左右，与理论值差距太大了，不知道是我理论计算有问题还是靶材有问题，求高人指教！
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2014-04-12 11:09:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

玖辛奈

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by Apple.D. at 2014-04-14 14:22:05
已经排除了氧化的可能性...

请问是如何排除氧化的可能？还有你们这四探针法测电阻是怎么测的？电极是怎么做到的？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
11楼2016-03-03 14:57:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
穿越千年: 感谢积极应助 2014-04-13 10:47:21
Apple.D.: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-04-14 08:37:03
有几个因素可能影响Al膜的方阻：一是铝膜的厚度；二是铝膜的纯度；三是铝靶的致密度；四是铝靶和铝膜的晶体织构取向。
另外楼主也要检查一下四探针法测电阻率时接触电阻问题是否得到了有效的解决？
赞一下 回复此楼
2楼2014-04-12 20:08:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

穿越千年

版主 (著名写手)

寂寞读书的小和尚

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-04-12 20:08:14
有几个因素可能影响Al膜的方阻：一是铝膜的厚度；二是铝膜的纯度；三是铝靶的致密度；四是铝靶和铝膜的晶体织构取向。
另外楼主也要检查一下四探针法测电阻率时接触电阻问题是否得到了有效的解决？

想请问一下，四探针法能否消除电压极的接触电阻，要是能消除，原理是什么？
赞一下 回复此楼
热电材料，相变材料，阻变材料，APT，EBSD
3楼2014-04-13 10:48:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dql52213

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不知道有没有氧化的情况发生
赞一下 回复此楼
科学这个东西实在是。。。。。。
4楼2014-04-14 13:32:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 294求调剂 +3 Zys010410@ 2026-03-13 4/200 2026-03-15 10:59 by zhq0425
[考研] 309求调剂 +4 花与叶@ 2026-03-10 4/200 2026-03-14 21:26 by a不易
[考研] 304求调剂 +5 小熊joy 2026-03-14 5/250 2026-03-14 21:07 by peike
[考研] 267一志愿南京工业大学0817化工求调剂 +5 SUICHILD 2026-03-12 5/250 2026-03-14 14:53 by jean5056
[考研] 293求调剂 +5 上班不着吉 2026-03-09 5/250 2026-03-14 02:37 by JourneyLucky
[考研] 301求调剂 +3 归零lbm 2026-03-09 3/150 2026-03-14 02:20 by JourneyLucky
[考研] 328，0703考生求调剂，一志愿为东北师范大学 +4 观素律 2026-03-09 5/250 2026-03-14 01:24 by JourneyLucky
[考研] 一志愿安徽大学材料工程专硕313分，求调剂的学校 +8 Yu先生 2026-03-10 10/500 2026-03-14 01:04 by JourneyLucky
[考研] 312求调剂 +6 陌宸希 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:40 by JourneyLucky
[考研] 327求调剂 +4 Ffff03 2026-03-10 4/200 2026-03-14 00:17 by JourneyLucky
[考研] 304求调剂 +6 Mochaaaa 2026-03-12 7/350 2026-03-13 22:18 by 星空星月
[考研] 308求调剂 +5 是Lupa啊 2026-03-11 5/250 2026-03-13 22:13 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +9 ADT 2026-03-11 9/450 2026-03-13 21:55 by JourneyLucky
[考研] 329求调剂 +3 miaodesi 2026-03-12 4/200 2026-03-13 20:53 by 18595523086
[考研] 求调剂 +7 18880831720 2026-03-11 7/350 2026-03-13 16:10 by JourneyLucky
[考研] 一志愿211化学学硕310分求调剂 +8 努力奋斗112 2026-03-12 9/450 2026-03-13 15:41 by JourneyLucky
[考研] 295求调剂 +3 小匕仔汁 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:17 by vgtyfty
[论文投稿] 投稿问题 5+4 星光灿烂xt 2026-03-12 6/300 2026-03-13 14:17 by god_tian
[考研] 333求调剂 +3 152697 2026-03-12 4/200 2026-03-13 07:08 by Iveryant
[考研] 0857环境调剂 +5 熠熠_11 2026-03-10 5/250 2026-03-11 10:59 by wang_dand
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭