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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 关于用XRD测试薄膜的问题
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young116

禁虫 (初入文坛)
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1楼 2014-04-10 20:42:20
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luan001

木虫 (小有名气)
可以测XRD，慢扫，掠射。要不直接测试的是玻璃衬底的峰。掠射也有馒头峰，但是所做薄膜的峰可以看到。
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踏实科研
2楼2014-04-14 10:44:04
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wujin620

禁虫 (初入文坛)
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3楼2014-04-15 14:59:26
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luan001

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wujin620 at 2014-04-15 14:59:26
请教下，什么是掠射？...

掠射，就是掠入射小角x衍射（GID)或者掠入射小角X射线散射（GISAXS），我们这边测试时候直接和测试人员说一下掠射就是。GID主要测量表面薄膜晶格、应力等微结构信息，可以测量很薄的薄膜（几十纳米到微米量级）。（GISAXS）主要测量表面薄膜上和薄膜内部纳米颗粒（结构）信息，比如内部颗粒尺寸、形状、间距和分布等信息，其原理类似于小角X射线散射。
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踏实科研
4楼2014-04-15 16:12:02
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datoumaodan

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by luan001 at 2014-04-15 16:12:02
掠射，就是掠入射小角x衍射（GID)或者掠入射小角X射线散射（GISAXS），我们这边测试时候直接和测试人员说一下掠射就是。GID主要测量表面薄膜晶格、应力等微结构信息，可以测量很薄的薄膜（几十纳米到微米量级）。（ ...

我是山大物理学院的。请问GISAXS和SAXS对衬底有没有什么区别啊？貌似做SAXS，衬底不能过厚，普通的载玻片都不行，因为软X射线穿透力有限。不知道GISAXS对衬底有无特殊要求？另外问下您是哪个学校的？我想测GISAXS。谢谢！
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5楼2014-05-05 21:32:57
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