24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1799  |  回复: 14
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

spiderman504

金虫 (小有名气)

[求助] 光刻工艺优化 已有3人参与

光刻胶EPG516 正胶
转速:先500r/min,后2650r/min           3um
图中前烘温度75、80度,时间60s.
该光刻胶没有后烘工艺,曝光量100mJ/cm2,接触式曝光,显影时间60s.
图中台阶的倒角我做的最好也就65度左右,改过温度,时间,曝光量,其中显影时间是以显影完全为准,没有考虑时间。结果都不太理想,还应该朝哪方面优化。

光刻工艺优化
516 75.jpg


光刻工艺优化-1
516 80-4.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

由于您的签名过于个性,小木虫暂时无法显示。。。
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

spiderman504

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2014-04-22 14:08:47
一般的胶很少有这么低的前烘温度,建议你用100度试试不同时间下的光刻。
这样胶会烘的比较硬,光刻时间会随之增长,显影时间也会略长。
试试看吧……...

100、110度都做过,显影3分钟都显不掉。
由于您的签名过于个性,小木虫暂时无法显示。。。
5楼2014-04-22 23:14:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
spiderman504: 金币+2, 有帮助 2014-04-21 16:50:16
永光的胶确实不好用,建议别调了,这种黑边的胶,工艺很麻烦。
建议用AZ9912或者国产i线胶(锐材的i1000)试试,厚度不一定有这么厚,但垂直度肯定没问题。
2楼2014-04-18 18:02:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

spiderman504

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-04-18 18:02:18
永光的胶确实不好用,建议别调了,这种黑边的胶,工艺很麻烦。
建议用AZ9912或者国产i线胶(锐材的i1000)试试,厚度不一定有这么厚,但垂直度肯定没问题。

好忧伤,本科毕设让做这个,怎么破?
由于您的签名过于个性,小木虫暂时无法显示。。。
3楼2014-04-21 16:50:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by spiderman504 at 2014-04-21 16:50:02
好忧伤,本科毕设让做这个,怎么破?...

一般的胶很少有这么低的前烘温度,建议你用100度试试不同时间下的光刻。
这样胶会烘的比较硬,光刻时间会随之增长,显影时间也会略长。
试试看吧……
4楼2014-04-22 14:08:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 290求调剂 +3 dfffsar 2026-03-29 3/150 2026-03-29 22:38 by 毛毛毛阿莫2
[考研] 一志愿北京工业大学,324分求调剂 +6 零八# 2026-03-28 6/300 2026-03-29 21:20 by nanaliuyun
[考研] 【求调剂】085601材料工程专硕 | 总分272 | +7 脚滑的守法公民 2026-03-27 7/350 2026-03-29 20:21 by dophin1985
[考研] 299求调剂 +10 15188958825 2026-03-25 10/500 2026-03-29 17:51 by 王亮_大连医科大
[考研] 一志愿郑州大学,080500学硕,总分317分求调剂 +8 举个栗子oi 2026-03-24 9/450 2026-03-29 13:08 by peike
[考研] 调剂求院校招收 +6 鹤鲸鸽 2026-03-28 6/300 2026-03-29 08:15 by fmesaito
[考研] 调剂考研 +3 王杰一 2026-03-29 3/150 2026-03-29 08:09 by fmesaito
[考研] 0703化学 +11 妮妮ninicgb 2026-03-27 11/550 2026-03-29 06:45 by 544594351
[考研] 11408软件工程求调剂 +3 Qiu学ing 2026-03-28 3/150 2026-03-28 21:50 by zhq0425
[考研] 求调剂 +6 芦lty 2026-03-25 7/350 2026-03-28 13:13 by 唐沐儿
[考研] 张芳铭-中国农业大学-环境工程专硕-298 +4 手机用户 2026-03-26 4/200 2026-03-28 07:17 by mmm just
[考研] 材料求调剂 一志愿哈工大总分298分,前三科223分 +5 dongfang59 2026-03-27 5/250 2026-03-28 04:53 by wxiongid
[考研] 279 分 求调剂 +4 睡个好觉_16 2026-03-24 4/200 2026-03-27 15:05 by 醉在风里
[考研] 考研调剂 +10 呼呼?~+123456 2026-03-24 10/500 2026-03-27 11:46 by wangjy2002
[论文投稿] Journal of Mechanical Science and Technology +3 Russ_ss 2026-03-25 5/250 2026-03-27 10:49 by 陆小果画大饼
[硕博家园] 北京林业大学硕导招生广告 +6 kongweilin 2026-03-26 8/400 2026-03-27 10:18 by FF_16
[考研] 材料科学与工程 317求调剂 +4 JKSOIID 2026-03-26 4/200 2026-03-26 15:58 by 不吃魚的貓
[考研] 一志愿南航 335分 | 0856材料化工 | GPA 4.07 | 有科研经历 +6 cccchenso 2026-03-23 6/300 2026-03-25 22:25 by 544594351
[考研] 一志愿南航材料专317分求调剂 +5 炸呀炸呀炸薯条 2026-03-23 5/250 2026-03-24 16:52 by 星空星月
[论文投稿] 急发核心期刊论文 +3 贤达问津 2026-03-23 5/250 2026-03-23 17:13 by 妹子不好惹
信息提示
请填处理意见