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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 求助扫描电镜品牌及型号
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1314daydayup

金虫 (小有名气)

[求助] 求助扫描电镜品牌及型号 已有4人参与

最近单位建设超净实验室，打算订购一台扫描电镜，大致看了下有FEI的和德国蔡司的，我们是做硅器件的，要求能够放4–6寸硅圆片以及单个小器件。最重要的是最要不要喷金呀这种破坏性的样品处理过程，电镜本身就能较好的抑制二次电子的荷电效应，价格要在200w以内吧，谢谢您的推荐！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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1楼 2014-04-07 06:37:22
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155128895

木虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by zhenwuhuang at 2014-04-09 18:11:42
推荐FEI和JEOL，首选FEI

我用的是FEI的，遇到一些维修，像散问题，可以留个联系方式交流下吗？
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13楼2020-03-08 17:12:29
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userhung

禁虫 (文学泰斗)

木虫博士

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
看看这个会有帮助的~~~~~~~~~~~~~~~

http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=2852537
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2楼2014-04-07 07:58:39
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
环境扫描电镜吧，推荐FEI的，价格啥样的都有，200w应该也就是入门级场发射，具体可以问问他们公司销售，不过导电性确实很差而且有有机物的话，对电镜分辨率损伤还是蛮大的，还是应该严格限制污染太严重的样品。其次可以看看日立SU8000系列，也有做对landing电压的设计，不过感觉还是FEI的更靠谱
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3楼2014-04-07 11:52:28
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272598809

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
作为电镜工程师，考虑设备质量、以及售后维护方面，zeiss还是不错的。
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4楼2014-04-09 16:47:47
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