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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 镀膜技术-磁控溅射辉光清洗
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迫不得已

银虫 (小有名气)

[求助] 镀膜技术-磁控溅射辉光清洗已有2人参与

谁知道磁控溅射镀膜前辉光清洗的各个工艺参数？偏压、电流以及工作气压。
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我就是我，颜色不一样的烟火
1楼2014-03-22 20:47:15
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迫不得已

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wydmhy at 2014-03-24 16:35:19
反溅射清洗，试试就知道了吗。

能不能具体点啊？参数呢？？
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我就是我，颜色不一样的烟火
3楼2014-03-24 22:07:42
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
反溅射清洗，试试就知道了吗。
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2楼2014-03-24 16:35:19
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浅蓝色背影

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
反清洗就行！你这估计是清洗反应腔体吧！
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坚持就是胜利
4楼2014-03-25 09:08:43
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迫不得已

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 浅蓝色背影 at 2014-03-25 09:08:43
反清洗就行！你这估计是清洗反应腔体吧！

辉光清洗是磁控溅射镀膜前对基体的清洗。
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我就是我，颜色不一样的烟火
5楼2014-03-26 12:02:33
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