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超净间里用来清洗晶片的玻璃仪器名称 已有1人参与
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求教一种超净间里经常用的，用来盛去离子水清洗晶片的玻璃仪器的名称。 就是一个玻璃器皿或者烧杯，然后侧面有一个出水口，side arm。一般几个串联使用，最脏的东西在最下游清洗，最干净的在最上游 请问学术名称叫什么？谢啦！ |
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yswyx 
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2楼2014-03-25 19:16:01