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三平方

金虫 (小有名气)


[求助] 有没有只和硅反应,不与二氧化硅反应的东西已有8人参与

有没有只和硅反应,不与二氧化硅反应的东西?最好是常温下
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chaoweihit

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
8楼: Originally posted by wgl2003 at 2014-03-13 10:51:59
TMAH,四甲基氢氧化铵,常温下腐蚀可控,对SiO2选择性很高,干法腐蚀可以选择XeF2,效果也很好

正解,这是经典办法。
9楼2014-03-13 11:35:49
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