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渔翁860

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】磁控溅射制备薄膜

有没有用磁控溅射制备薄膜的?在这发个贴子,希望大家讨论一下。我用磁控溅射做了一段时间的薄膜了,最近出了点问题,因找不到好的文献,所以请有经验的朋友来这里交流一下心得,谢谢!我用的是JCP-300,泰科诺的,设备使用起来 不太稳定,特别是重复性不好,不知道有没有虫友遇到过类似的问题!

[ Last edited by zt970831 on 2008-4-28 at 22:45 ]
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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三


zt970831(金币+1,VIP+0):感谢您的交流
是不是靶中毒了??要是靶没中毒,会不会本底真空不一样的??或者镀膜时的基片温度不一样了??本底真空和基片温度也会对薄膜产生不小的影响。
心怀感恩,凡人与事都值得我感恩一番。
16楼2008-06-02 17:20:15
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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主

问题描述?机器型号?
从此不问江湖事
2楼2008-01-15 22:28:24
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渔翁860

金虫 (正式写手)

主要是稳定性和重复性方面不好!我用的北京泰科诺的JCP-300
3楼2008-01-16 08:58:34
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haikee

银虫 (小有名气)


zt970831(金币+1,VIP+0):谢谢您的答复:)
看你的描述,是仪器本身的性能有问题......
4楼2008-01-16 09:29:07
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