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渔翁860

金虫 (正式写手)

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专业: 微/纳机械系统

[交流] 【求助】磁控溅射制备薄膜

有没有用磁控溅射制备薄膜的？在这发个贴子，希望大家讨论一下。我用磁控溅射做了一段时间的薄膜了，最近出了点问题，因找不到好的文献，所以请有经验的朋友来这里交流一下心得，谢谢!我用的是JCP-300，泰科诺的，设备使用起来不太稳定，特别是重复性不好，不知道有没有虫友遇到过类似的问题！

[ Last edited by zt970831 on 2008-4-28 at 22:45 ]

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1楼 2008-01-15 21:54:39

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

nini_chen

银虫 (小有名气)

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注册: 2008-06-02
专业: 金属材料表面科学与工程

渔翁860 请问你是什么单位

渔翁860你好！首先想问一下你是什么单位？
相信你看了大家的一些评论，也应该有了一定了解。稳定性和重复性不只和设备有关，固然国产设备在整体质量上和国外有一定的差距，但是个人认为，重复性上还是和工艺的关系最大。除非设备出现了一些重大的问题，磁控溅射方面：比如设备有较大的漏气、靶出现消磁等主要问题。在工作气压、靶材功率、基片间距、基片温度等等方面都有很大的关系，如果你把你的问题说的详细一点，相信大家能够讨论的更加充分！