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渔翁860

金虫 (正式写手)

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[交流] 【求助】磁控溅射制备薄膜

有没有用磁控溅射制备薄膜的？在这发个贴子，希望大家讨论一下。我用磁控溅射做了一段时间的薄膜了，最近出了点问题，因找不到好的文献，所以请有经验的朋友来这里交流一下心得，谢谢!我用的是JCP-300，泰科诺的，设备使用起来不太稳定，特别是重复性不好，不知道有没有虫友遇到过类似的问题！

[ Last edited by zt970831 on 2008-4-28 at 22:45 ]

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1楼 2008-01-15 21:54:39

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zhouliang768

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★ ★ ★
zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流：）

我也做过几年薄膜制备实验，开始的时候总做不好重复试验，一度很坚决的认为是仪器的问题，正打算彻底放弃的时候，试验室的一位老师傅告诉我是因为我做的还是少，缺少实际控制的经验，听了觉得疑惑，于是继续练习，实验记录本记满几大本之后才发现仪器本来没有责任，之所以重复性不好，还是在于自己控制不当，制备条件不一致是最厚薄膜性能不一致的根本原因，希望对搂主有帮助。加油练习吧，没别的办法。