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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射制备薄膜
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渔翁860

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】磁控溅射制备薄膜

有没有用磁控溅射制备薄膜的？在这发个贴子，希望大家讨论一下。我用磁控溅射做了一段时间的薄膜了，最近出了点问题，因找不到好的文献，所以请有经验的朋友来这里交流一下心得，谢谢!我用的是JCP-300，泰科诺的，设备使用起来 不太稳定，特别是重复性不好，不知道有没有虫友遇到过类似的问题！

[ Last edited by zt970831 on 2008-4-28 at 22:45 ]
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1楼 2008-01-15 21:54:39
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wql110

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
lvzhu2007(金币+2,VIP+0):鼓励新虫,感谢交流~
可能是真空系统有问题,再一个你加的偏压是不是正常,以及靶和样品的间距也会影响到最后的溅射效果...
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10楼2008-04-24 15:25:58
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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主
问题描述?机器型号?
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从此不问江湖事
2楼2008-01-15 22:28:24
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渔翁860

金虫 (正式写手)
主要是稳定性和重复性方面不好！我用的北京泰科诺的JCP-300
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3楼2008-01-16 08:58:34
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haikee

银虫 (小有名气)
★
zt970831(金币+1,VIP+0):谢谢您的答复：）
看你的描述，是仪器本身的性能有问题......
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4楼2008-01-16 09:29:07
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