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bhutl

铜虫 (小有名气)

[交流] 光学中的 功率谱密度 有什么意义?我自问自答

搜索挖坟看到一篇求助,但没人回复。我做了简单的回复,但对其中功率谱密度不懂 ,求助啊
[交流]【求助】非球面测试问题  

小木虫:您的帖子题目不太能反映您的帖子内容,这样不便于虫子们帮您解决问题,请及时修改 2010-03-16 17:09
GrasaVampiro:请认真阅读版规第二条,一贴一主题 2010-03-16 10:31

我遇到了一个棘手的问题。关于非球面反射镜测试。老师要求测试其PV值、均方根和功率谱密度。非球面是否可以用非球面程度来衡量呢?就是有与球面对比,它到底“非”到什么程度?哪位老师是这方面的专家。替我接到一下。再者,我是光学方面的外行,功率谱密度到底什么意思?我看了,还是不甚了了。一并请教一下。若能告知,小弟不胜感激!

[ Last edited by hzg31 on 2010-3-16 at 19:30 ]

功率谱密度就是 Power Spectrum ,PV就是峰谷值,均方根就是RMS(或叫Rq)。他们都是用来评价一个非球面的表面质量、轮廓度的。可以用轮廓仪、白光干涉仪分别测得。PV值鉴于是非球面可以用轮廓仪测但是要知道其具体方程参数、也可以用CGH测量如ZYGO的非球面干涉仪拼接测量或者说衍射测量非球面,相比轮廓仪他们是3D的。非到什么程度,有方程参数决定。对于PSD具体到底何意我也不清楚,谁能告诉我?

[ Last edited by bhutl on 2014-1-18 at 18:16 ]
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bhutl

铜虫 (小有名气)

等了多少天,就查了多少天,现在自己有点眉目,但没人解答,那就自问自答

在ISO 10110-8有对PSD的定与计算公式
用傅里叶变换将空间数据点转换成频率振幅
评价表面的粗糙度,尤其是波纹度。
因为粗糙度对光学面的散射   入射 辐射有很大影响。PSD值越小表面粗糙度越小。
对表面粗糙度的评价已经有了RA RMS 等等为何还需要一个psd。因为一个不规则的表面(没有波纹)与一个规则的表面(有波纹)有可能会得到一个相同RMS,为此需要PSD。
对一个超光滑表面PSD很重要。
干涉仪能测

[ Last edited by bhutl on 2014-1-18 at 18:12 ]
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2楼2014-01-18 18:11:23
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