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haijiao0407

银虫 (正式写手)

[求助] SEM离子溅射求助

各位大侠，有木有用JSM-6490LV型号的扫面电镜啊，最近我们实验室的JFC-1600型离子溅射仪，真空度下不去，我就用无水乙醇擦洗了下，把那个靶片也拿下来看了看。然后就原封不动的装上了，以前喷金的时候都呈现辉光放电现象，但现在完全看不到放电光束了，应该是没有发生离子溅射吧，怎么办，怎么办
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1楼 2013-12-19 17:01:08
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

。。。不起辉了那肯定是没喷了，直接问厂家吧，不知道哪的问题，反正肯定是坏了，别瞎搞了，PS，离子溅射仪和扫描电镜没啥关系的，单独买的可以
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2楼2013-12-19 21:35:08
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haijiao0407

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-12-19 21:35:08
。。。不起辉了那肯定是没喷了，直接问厂家吧，不知道哪的问题，反正肯定是坏了，别瞎搞了，PS，离子溅射仪和扫描电镜没啥关系的，单独买的可以

总觉得应该没什么大问题，问厂家了，也说应该没什么大问题，之前都是好的，就擦洗完后就不喷金，关键是等厂家来修，要好久，急着做实验啊
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3楼2013-12-20 14:30:06
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by haijiao0407 at 2013-12-20 14:30:06
总觉得应该没什么大问题，问厂家了，也说应该没什么大问题，之前都是好的，就擦洗完后就不喷金，关键是等厂家来修，要好久，急着做实验啊...

没办法了。。不懂电路一类的东西还是别自己拆了，回来厂家都不保了更麻烦。。
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4楼2013-12-21 12:40:47
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